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净化生产车间气体循环系统种类
2023-07-31 15:45:19 来源：青岛汇众达净化设备有限公司
循环系统空调相互配合*效送风口系统软件、循环系统离心风机相互配合湿试密封性系统软件和FFU呼吸系统。
第*类：在小规模纳税人低等級规定的净化室生产车间设计构思中被运用，针对大规模*级的净化车间则存有运作成本费过*、占有室内空间*大等缺陷。
第二类：设计构思能够考虑集成电路生产制造无尘车间大规模*级的规定，但运作成本费*高，而且净化室风力、排风量调整艰难，系统*新改造艰难，因而实际操作协调能力*低。
第三类: FFU呼吸系统不但节约运作室内空间、洁净度等级*全系数高、运作低成本，并且实际操作协调能力*高，能够不在危害生产制造的状况下随时随地开展系统*新和调节，这种都能非常好地考虑半导体设备的要求，因而在半导体材料加工业FFU呼吸系统逐步形成*关键的清洁方案设计。
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