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    洁净车间的温湿度一般是根据工艺要求来进行确定，不但要满足工艺要求，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
   具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
1、洁净车间无尘车间系统
　　室内的空气净化系统可分为水平层流，垂直层流和乱流，选择气流形式一则参照惯例，二则取决于房间的工作参数。
2、无尘车间洁净度与换气次数
　　房间的洁净度取决于单位时间的换气次数，因此应该考虑房间的工作性质，以及生产工艺要求，再决定净化系统的技术参数。
　　3、结构
　　4、无尘净化车间设计方案
　　5、材料
　　6、压力和气流
　　7、洁净车间辅助设备
　　8、人和物的控制
　　9、给排水和送风装置及电源
  洁净车间湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。

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1 物料进出洁净区，必须严格与人分开，由生产车间物料专用通道进出。
2 物料进入时，原辅料由配制班工序负责人组织人员脱包或外表清洁处理后，经传递窗送至车间原辅料暂存间；内包材料在其外暂存间拆去外包装后，经传递窗送入内包间。车间综合员与配制、内包装工序负责人办理物料交接。
3 通过传递窗传递时，必须严格执行传递窗内外门“一开一闭”的规定，两门不能同时开启。开外门将物料放入后先关门，再开内门将物料拿出，关门，如此循环。
4 洁净区内的物料送出时，应先将物料运送至相关的物料中间站内，按物料进入时的相反程序移出洁净区。
5 所有半成品从洁净区运出，均需从传递窗送至外暂存间，经物流通道转运至外包装间。
6 极易造成污染的物料及废弃物，均应从其专用传递窗运到非洁净区。
7 物料进出结束后，应及时清理各清包间或中间站的现场及传递窗的卫生，关闭传递窗的内外通道门，做好清洁消毒工作。 
二、维护保养
传递窗是安装与室外的空气自净装置，可以净化室内的空气，加快室内空气的流通，提高室内空气的清晰度，维护家庭环境的良好。
1、安装地点应远离远高速源和震源，应安装在各级净化厂房或空调厂房内，可根据需要水平安装或垂直安装，安装时应在安装面上放置5MM厚的乳胶海绵密封垫框，确保气密性。
2、自净器安装孔大小根据自净器的外型尺寸确定。
3、如果使用调压器，可调节调压器电压不改变出风面的平均风速，从而*经济地使用自净器，提高高效过滤器的使用寿命。
4、为保证净化区域的洁净度，每次使用前应提前15分钟开机。
5、洁净空气吹出面应正对需要净化的工作区，期间应避免有大面积的物品阻挡。净化区域里应尽量避免作明显扰乱层流的动作。
6、根据环境的洁净程度，定期将顶部预滤器中的无纺布滤料拆下进行清洗，间隔时间一般为3-6个月，一般情况当预滤器内的无纺布滤料发黑时，既可拆下清洗，或予以更换。
7、定期（一般为每个月两次）用Y9-4型尘埃粒子计数器测定安装本设备的房间或工作区的洁净度，如不符合技术参数要求，则应更换高效过滤器，高效过滤器的使用寿命为9600小时
8、更换高效过滤器时须拆下净化器前面压框，将高效过滤器取出，换上新的高效过滤器时，应将高效过滤器上的箭头，指向气体流动方向。　　
9、更换高效过滤后，应用Y09-4型尘埃粒子计数器扫描捡漏，特别注意四周边框是否良好。
10、电气故障需要*人员进行维修。
11、设备使用温度不得大于50℃，且严禁使用明火。