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详细信息
品牌：汇众达 加工定制：是 型号：HZD 空气净化技术：负氧离子技术;光触媒技术 处理风量：1000 kw 功率：99.99 净化率：99.99 % 噪音：50 db 净化车间-汇众净化达工程施工企业
青岛汇众达净化设备有限公司是一家*业从事空气净化工程及设备研发、设计、制造、安装、维护于一体的高新科技企业，业务遍及食品饮料、日用品化妆品、光电光学、医院工程、生物工程、实验室等产业领域。净化车间
汇众达与您分享电子无尘车间净化工程设计施工要求：
电子无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，电子无尘车间净化工程对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，电子无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
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根据电子无尘车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。集成电路制造对电子无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，净化车间设计施工，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。
另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。
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- 产品型号：HZD
- 品 牌：汇众达
- 所 在 地：山东青岛
- 更新日期：2024-04-26
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