- 汇众达十万级洁净室复合式应用HZD
详细信息
加工定制:是 品牌:汇众达 型号:HZD 杀有害菌率:99.99 % 除尘率:99.99 % 废气净化率:99.99 % 净化级别:百万-十万级 适用面积:20-2000 ㎡ 杀霉菌率:99.99 % 负离子浓度:1000 个/m3
十万级洁净室复合式应用复合式:复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100/覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为*适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)井装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净棚、装配式洁净室、洁净衣柜即属此类。洁净工作台:等级Class 1~100级。洁净棚:为在乱流式之洁净室。
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